您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(50775122)

作品数：5 被引量：15H指数：3
相关作者：潘国顺刘岩戴媛静张伟刘宇宏更多>>
相关机构：清华大学清华大学研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划广东省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺更多>>

领域

  • 10个机械工程
  • 8个金属学及工艺
  • 8个电子电信
  • 6个化学工程
  • 6个一般工业技术
  • 6个理学
  • 5个自动化与计算...
  • 4个动力工程及工...
  • 4个电气工程
  • 4个交通运输工程
  • 4个医药卫生
  • 3个石油与天然气...
  • 3个文化科学
  • 2个经济管理
  • 2个矿业工程
  • 2个建筑科学
  • 2个水利工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个航空宇航科学...
  • 1个天文地球

主题

  • 10个化学机械抛光
  • 10个机械抛光
  • 9个抛光
  • 9个抛光液
  • 8个铜
  • 7个乙烯
  • 7个纳米
  • 7个金属
  • 6个硬盘
  • 6个铜表面
  • 6个去除速率
  • 6个面粗糙度
  • 6个基片
  • 5个单晶
  • 5个动力学
  • 5个聚苯
  • 5个聚苯乙烯
  • 5个苯乙烯
  • 4个聚苯乙烯颗粒
  • 3个光泽度

机构

  • 9个清华大学
  • 6个清华大学研究...
  • 1个复旦大学
  • 1个吉林大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个西安交通大学
  • 1个西安冶金建筑...
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国矿业大学
  • 1个香港城市大学
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个中国科学院金...
  • 1个上海汽轮机有...
  • 1个青华大学

资助

  • 10个国家自然科学...
  • 9个国家重点基础...
  • 6个广东省自然科...
  • 6个国家高技术研...
  • 6个国际科技合作...
  • 5个上海市科委科...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个上海市科委纳...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个创新研究群体...
  • 2个国家科技支撑...
  • 2个教育部跨世纪...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个教育部重点实...
  • 2个清华大学自主...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个江苏省自然科...

传媒

  • 8个润滑与密封
  • 8个摩擦学学报（...
  • 5个清华大学学报...
  • 5个中国基础科学
  • 4个机械工程学报
  • 4个材料保护
  • 4个中国表面工程
  • 3个科学通报
  • 3个中国机械工程
  • 3个压电与声光
  • 2个钢铁
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个物理学报
  • 2个西安交通大学...
  • 2个电源技术
  • 2个功能材料
  • 2个计算力学学报
  • 2个材料研究学报
  • 2个自然科学进展...
  • 2个金属加工（冷...

地区

  • 8个北京市
  • 2个广东省
共 10 条 记 录，以下是 1-10
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘岩
供职机构：清华大学航天航空学院
研究主题：无网格法 分子动力学 无单元法 无网格 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴媛静
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇宏
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：铜 化学机械抛光 氨基乙酸 腐蚀坑 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚剑锋
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：化学机械抛光 聚苯乙烯颗粒 PS 去除速率 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴惠芳
供职机构：清华大学研究院
研究主题：钛 基片 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱永华
供职机构：清华大学研究院
研究主题：电塑性 钢丝 电刷镀层 电塑性效应 拔丝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0