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国家自然科学基金(50775189)
作品数:
5
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苑伟政
任森
安鹏
王震
赵阳
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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任森
供职机构:西北工业大学
研究主题:谐振式压力传感器 谐振 微机电系统 硅 MEMS
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燕斌
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 刻蚀 微机电系统 锚点 微机械
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安鹏
供职机构:西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 加速度计 微机械加速度计 微机电系统 过程自动化
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虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
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邓进军
供职机构:西北工业大学
研究主题:剪应力 微传感器 传感器 微机电系统 MEMS
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赵阳
供职机构:浙江大学
研究主题:向量式有限元 屈曲 钢筒仓 钢储罐 单层网壳
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马骋宇
供职机构:西北工业大学
研究主题:流体 微机电系统 传感器 剪应力 MEMS
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刘振亚
供职机构:西北工业大学
研究主题:声矢量传感器 传感器灵敏度 测试性 玻璃基 MEMS
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李太平
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 衍射特性 掩膜版 SOI晶圆 高深宽比
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