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国家高技术研究发展计划(04Z3)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：徐淑静吕树海徐爱东徐永青杨拥军更多>>
相关机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 5个机械工程
  • 5个电子电信
  • 5个自动化与计算...
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  • 3个电气工程
  • 3个一般工业技术
  • 1个生物学
  • 1个交通运输工程
  • 1个自然科学总论
  • 1个理学

主题

  • 5个单晶
  • 5个单晶硅
  • 5个单晶硅片
  • 5个单片
  • 5个单片集成
  • 5个电阻
  • 5个速度传感器
  • 5个热对流
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  • 4个电容式
  • 4个电容式加速度...
  • 4个质心
  • 4个速率
  • 4个速率传感器
  • 3个地质
  • 3个地质探矿
  • 3个电极
  • 3个电路
  • 3个电容
  • 3个电容量

机构

  • 5个中国电子科技...
  • 2个中国电子科技...
  • 1个吉林大学
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 5个国家高技术研...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个滨州市科技发...
  • 2个国家重点实验...
  • 1个国防基金
  • 1个国家部委资助...

传媒

  • 5个微纳电子技术
  • 4个2003年惯...
  • 4个2003年惯...
  • 4个中国惯性技术...
  • 3个传感技术学报
  • 3个中国微米纳米...
  • 3个中国微米、纳...
  • 2个半导体技术
  • 2个Journa...
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  • 1个仪器仪表与分...
  • 1个半导体情报
  • 1个中国机械工程
  • 1个自动化与仪器...

地区

  • 5个河北省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
吕树海
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐永青
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 微机械 可变光衰减器 微电子机械 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨拥军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐爱东
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐淑静
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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