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国家自然科学基金(60176013)

作品数：8 被引量：48H指数：5
相关作者：张卫卢红亮任杰徐敏曾磊更多>>
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相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>

领域

  • 20个电子电信
  • 12个自动化与计算...
  • 11个化学工程
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主题

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  • 8个低介电常数
  • 8个低介电常数介...
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  • 7个等离子体
  • 7个低功耗
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机构

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  • 1个北京大学
  • 1个同济大学
  • 1个上海电子信息...
  • 1个河北科技大学
  • 1个中国人民解放...
  • 1个罗门哈斯电子...

资助

  • 20个国家自然科学...
  • 12个上海-AM基...
  • 9个国家高技术研...
  • 8个上海市科学技...
  • 5个中国博士后科...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个高等学校骨干...
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传媒

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  • 4个微细加工技术
  • 4个自然科学进展...
  • 4个实验室科学
  • 3个稀土

地区

  • 19个上海市
  • 1个河北省
共 20 条 记 录，以下是 1-10
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢红亮
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立锋
供职机构：复旦大学微电子研究院
研究主题：铜互连 脉冲电镀 集成电路 电阻率 X射线衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾磊
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 脉冲电镀 铜互连线 集成电路 电阻率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐敏
供职机构：复旦大学
研究主题：偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪礼康
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 脉冲电镀 集成电路 电阻率 X射线衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐赛生
供职机构：复旦大学
研究主题：增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任杰
供职机构：河北科技大学理学院
研究主题：密度泛函理论 密度泛函理论研究 电子结构 原子层淀积 反应机理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈玮
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 快闪存储器 沉积厚度 介质薄膜 纳米晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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