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上海-AM基金(0511)

作品数：6 被引量：6H指数：2
相关作者：杨春生石金川张丛春刘兴刚丁桂甫更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 7个上海市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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石金川
供职机构：上海交通大学
研究主题：磁控溅射 介电性能 铁电薄膜 沉积温度 CU互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张丛春
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 温度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘兴刚
供职机构：上海交通大学
研究主题：互连结构 牺牲层 磁控溅射 铜互连 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐逸
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：BST薄膜 钛酸锶钡 溅射法制备 介电性能 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马骏
供职机构：上海交通大学
研究主题：空间结构 时程模拟 流固耦合 风场 火焰燃烧
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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