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上海市青年科技启明星计划(01QMH1403)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：张苗门传玲沈勤我安正华谢欣云更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：上海市青年科技启明星计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 6个电子电信
  • 5个一般工业技术
  • 4个电气工程
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  • 3个化学工程
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  • 2个金属学及工艺
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  • 1个核科学技术
  • 1个文化科学
  • 1个自然科学总论

主题

  • 6个氮化
  • 6个电路
  • 6个锗硅
  • 6个埋层
  • 5个氮化铝
  • 5个电子束蒸发
  • 5个退火
  • 5个离子注入
  • 4个单晶
  • 4个单晶薄膜
  • 4个氮化硅
  • 4个氮化硅薄膜
  • 4个导体
  • 4个电路工艺
  • 4个电子领域
  • 4个淀积
  • 4个应变SI
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  • 3个单晶硅
  • 3个氮化铝薄膜

机构

  • 6个中国科学院
  • 3个中国科学院上...
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  • 1个上海理工大学
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  • 1个新疆大学
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资助

  • 6个国家重点基础...
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  • 3个上海市科学技...
  • 3个上海市自然科...
  • 2个国家科技重大...
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传媒

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  • 2个电子显微学报
  • 2个微电子学
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地区

  • 6个上海市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
门传玲
供职机构：上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题：碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
安正华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈勤我
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢欣云
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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