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国家自然科学基金(60476033)
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王跃林
金仲和
马慧莲
吴昌聚
王慧泉
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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金仲和
供职机构:浙江大学
研究主题:卫星 谐振式光纤陀螺 微小卫星 微机械陀螺 种皮
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马慧莲
供职机构:浙江大学
研究主题:谐振式光纤陀螺 激光器 环形谐振腔 谐振腔 相位调制器
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吴昌聚
供职机构:浙江大学
研究主题:神经网络 高超声速飞行器 星体 扑翼机 射流
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郁发新
供职机构:浙江大学
研究主题:芯片 GAN器件 势垒层 电极 模组
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王慧泉
供职机构:浙江大学
研究主题:星载 虫源 温室作物 湿帘 综合电子系统
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郑旭东
供职机构:浙江大学
研究主题:微机械陀螺 微机械加速度计 加速度测量 调谐 调谐电压
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王昊
供职机构:浙江大学
研究主题:微小卫星 太阳敏感器 地球敏感器 除尘系统 分馏
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焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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丁纯
供职机构:浙江大学
研究主题:光电子学 谐振式光纤陀螺 微机械 硅 牺牲层
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