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国防基础科研计划(B1120060466)
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周铭
阚玲
梁涛
唐昭焕
刘勇
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中国电子科技集团公司第二十四研究所
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周铭
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:IC芯片 半导体工艺 可靠性 统计过程控制
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刘勇
供职机构:电子科技大学
研究主题:W波段 深槽 氮化镓 半导体 毫米波
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唐昭焕
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体 深槽 功率VDMOS器件 功率MOSFET器件 导电类型
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阚玲
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体工艺 IC芯片 氧化物 可靠性 欧姆接触
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徐岚
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:SPC 统计过程控制 半导体工艺 可靠性 化学溶液
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梁涛
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体工艺 掺杂 硅片表面 镜检 硫酸铈
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税国华
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:互补双极工艺 可靠性 MEMS 传输路径 SPC
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