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国家重点基础研究发展计划(G2000036501)
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张兴
黄如
田立林
李志坚
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黄如
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 沟道 晶体管 存储器 超大规模集成电路
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张兴
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 集成电路 沟道 电路 锗
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田立林
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:MOSFET SOI 浮体效应 纳米 沟道
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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何平
供职机构:清华大学经济管理学院
研究主题:流动性 DSOI SOI 超硬刀具 波动率
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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陈猛
供职机构:清华大学
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 SIMOX 低剂量
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董业明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SIMOX MOSFETS LOCAL DRAIN SOURCE
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于民
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:硅 分子动力学 离子注入 探测器 串扰
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