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国家科技重大专项(2012ZX02102003)
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2
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刘学平
李杰
张大亮
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刘学平
供职机构:清华大学
研究主题:喷嘴 显影 流道 显影液 基台
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李杰
供职机构:清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题:误差补偿 五轴数控机床 RSM 刚柔耦合 刚柔
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张大亮
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:超声加工 超声波 STC12C5A60S2单片机 功率控制 小功率电源
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