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国家科技重大专项(2011ZX02507-001-003)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：吴鹏周再发潘江涌更多>>
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发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家科技重大专项更多>>
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领域

  • 3个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个农业科学
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学
  • 1个理学

主题

  • 3个电子束光刻
  • 3个显影
  • 3个邻近效应校正
  • 3个光刻
  • 1个代理
  • 1个代理模型
  • 1个单独驱动
  • 1个单晶
  • 1个单晶硅
  • 1个单向性
  • 1个倒置式
  • 1个导电薄膜
  • 1个导体
  • 1个等离子体
  • 1个等离子体刻蚀
  • 1个低压化学气相...
  • 1个递推
  • 1个电测
  • 1个电磁
  • 1个电磁场

机构

  • 3个东南大学
  • 1个教育部

资助

  • 3个国家科技重大...
  • 3个教育部“新世...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个江苏省普通高...

传媒

  • 3个微纳电子技术
  • 1个化工时刊
  • 1个传感器技术
  • 1个Journa...
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个电子学报
  • 1个中国机械工程
  • 1个强激光与粒子...
  • 1个中国科学（E...
  • 1个传感技术学报
  • 1个电子器件
  • 1个固体电子学研...
  • 1个微电子学
  • 1个中国集成电路
  • 1个第八届敏感元...
  • 1个第八届中国微...
  • 1个中国微米/纳...
  • 1个中国微米纳米...
  • 1个2013‘全...
  • 1个中国微米、纳...

地区

  • 3个江苏省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
潘江涌
供职机构：东南大学
研究主题：量子点 显示器 空穴注入层 空穴传输层 电子传输层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴鹏
供职机构：东南大学电子科学与工程学院
研究主题：MONTE_CARLO MONTE CARLO模拟 邻近效应校正 显影
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周再发
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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