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国家自然科学基金(61274088)
作品数:
2
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相关作者:
崔兴美
陈笋
丁士进
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国家自然科学基金
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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崔兴美
供职机构:复旦大学
研究主题:存储器 薄膜晶体管 电荷 金属纳米晶 单晶硅片
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陈笋
供职机构:复旦大学
研究主题:电荷 存储器 薄膜晶体管 金属纳米晶 原子层淀积
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