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国家自然科学基金(61274108)

作品数：6 被引量：18H指数：3
相关作者：胡松赵立新严伟蒋薇李金龙更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院大学四川大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>

领域

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  • 2个自然科学总论

主题

  • 13个投影光刻
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机构

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资助

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传媒

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  • 2个中国仪器仪表
  • 2个半导体技术
  • 2个物理学报

地区

  • 13个四川省
  • 1个北京市
  • 1个西藏
共 15 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋薇
供职机构：四川大学
研究主题：压头 磨蚀性 总成 微量润滑 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段宣明
供职机构：中国科学院理化技术研究所
研究主题：激光 双光子 飞秒激光 光刻胶 打印头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒲小琼
供职机构：四川大学制造科学与工程学院
研究主题：虚拟现实 虚拟现实技术 SOLIDWORKS VRML 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金龙
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王楠
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 光刻 采样方法 采样点 采样
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李光
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：参考光 投影物镜 测量系统 测量方法 光波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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