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国家重点基础研究发展计划(G20000000672-2)

作品数:1 被引量:2H指数:1
相关作者:冯涛杨传仁王曦王永进张继华更多>>
相关机构:电子科技大学中国科学院更多>>
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领域

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主题

  • 6个碳化铪
  • 6个碳纳米管
  • 6个碳纳米管膜
  • 6个纳米
  • 6个纳米管
  • 5个离子注入
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  • 3个单片
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  • 3个等离子体增强
  • 3个电性能
  • 2个单晶硅片
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机构

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  • 1个昆明理工大学
  • 1个中国科学院研...
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资助

  • 6个国家重点基础...
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传媒

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  • 2个硅酸盐学报
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地区

  • 3个上海市
  • 2个四川省
  • 1个北京市
6 条 记 录,以下是 1-6
冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永进
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于伟东
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:碳纳米管 场发射 过渡金属催化剂 微结构 场发射性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨传仁
供职机构:电子科技大学
研究主题:铁电薄膜 钛酸锶钡 BST BST薄膜 射频磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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