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国家自然科学基金(11075114)

作品数：6 被引量：1H指数：1
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宁兆元
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张志辉
供职机构：苏州大学
研究主题：电子温度 电子密度 双频 氮气 感性耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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