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国家自然科学基金(60825403)

作品数：27 被引量：56H指数：4
相关作者：刘明谢常青陈军宁朱效立龙世兵更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所安徽大学中国工程物理研究院更多>>
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领域

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刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军宁
供职机构：安徽大学
研究主题：反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 电路结构
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朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾佳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：位相 透明介质 波带片 菲涅耳 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王琴
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 浮栅 纳米晶 俘获 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘一鸣
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：成像分辨率 衍射光学元件 普通玻璃 数值孔径 熔融石英
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王艳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 电阻 半导体器件 导电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘琦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 电阻 电路 非挥发性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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