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中国航空科学基金(04I53074)
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2
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邓进军
马炳和
苑伟政
赵建国
刘奎
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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邓进军
供职机构:西北工业大学
研究主题:剪应力 微传感器 传感器 微机电系统 MEMS
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马炳和
供职机构:西北工业大学
研究主题:剪应力 微传感器 传感器 微机电系统 MEMS
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姜澄宇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 剪应力 高深宽比 产品数据管理
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刘奎
供职机构:西北工业大学
研究主题:传感器阵列 传感器 微型传感器 边界层分离 薄膜电阻
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赵建国
供职机构:西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室
研究主题:镍 电阻温度系数 微加工 全柔性 聚酰亚胺
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