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国家自然科学基金(10975105)

作品数：3 被引量：1H指数：1
相关作者：叶超胡佳徐轶君更多>>
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领域

  • 3个电子电信
  • 2个理学
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  • 1个机械工程
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  • 1个医药卫生
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 3个等离子体
  • 3个CHF3
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  • 2个等离子体刻蚀
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  • 1个带隙
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  • 1个导电性能
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  • 1个等离子体发射
  • 1个等离子体发射...
  • 1个等离子体辅助
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  • 1个等离子体特性
  • 1个等离子体源
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  • 1个等离子体装置
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机构

  • 3个苏州大学
  • 1个苏州市第三中...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个江苏省高校省...
  • 1个江苏省高校省...
  • 1个江苏省教委自...
  • 1个江苏省重点实...

传媒

  • 3个物理学报
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  • 1个功能材料
  • 1个真空
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  • 1个大学物理实验
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  • 1个中国真空学会...
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地区

  • 3个江苏省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡佳
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：CHF3 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐轶君
供职机构：苏州大学
研究主题：石墨烯 感应耦合 宽禁带半导体 绝缘衬底 低温退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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