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创新研究群体科学基金(51021064)

作品数：5 被引量：16H指数：3
相关作者：路新春王同庆赵德文何永勇门延武更多>>
相关机构：清华大学西安交通大学更多>>
发文基金：创新研究群体科学基金国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：机械工程交通运输工程电子电信更多>>

领域

  • 14个金属学及工艺
  • 14个机械工程
  • 13个电子电信
  • 13个自动化与计算...
  • 13个一般工业技术
  • 12个文化科学
  • 11个交通运输工程
  • 11个理学
  • 10个化学工程
  • 10个动力工程及工...
  • 10个电气工程
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  • 6个建筑科学
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  • 5个轻工技术与工...
  • 4个水利工程
  • 4个自然科学总论
  • 4个兵器科学与技...

主题

  • 12个动力学
  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
  • 10个电机
  • 10个电路
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  • 7个电极
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  • 6个弹流润滑
  • 6个导轨
  • 5个单晶铜
  • 5个氮化
  • 4个单晶
  • 4个单晶硅
  • 4个挡板
  • 3个大型离心式压...
  • 3个单层膜
  • 3个弹性环
  • 3个等离子

机构

  • 14个清华大学
  • 5个西安交通大学
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  • 2个北京理工大学
  • 2个上海交通大学
  • 2个教育部
  • 2个西安工业大学
  • 2个清华大学研究...
  • 1个东北大学
  • 1个复旦大学
  • 1个北方交通大学
  • 1个东北工学院
  • 1个东南大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个合肥工业大学
  • 1个东北师范大学
  • 1个辽宁大学
  • 1个山东科技大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个西安冶金建筑...

资助

  • 16个国家自然科学...
  • 16个创新研究群体...
  • 12个国家重点基础...
  • 10个中国博士后科...
  • 9个国家科技重大...
  • 8个国家重点实验...
  • 7个国家高技术研...
  • 7个国家杰出青年...
  • 7个国家教育部博...
  • 4个教育部跨世纪...
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  • 4个陕西省自然科...
  • 4个中央高校基本...
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传媒

  • 13个机械工程学报
  • 12个摩擦学学报（...
  • 10个润滑与密封
  • 9个中国机械工程
  • 8个清华大学学报...
  • 7个机械设计
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  • 6个科学通报
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  • 5个机械强度
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  • 4个实验力学
  • 4个华中科技大学...
  • 4个振动与冲击
  • 4个计算力学学报
  • 4个中国表面工程
  • 3个振动工程学报
  • 3个工程设计学报
  • 3个钢铁

地区

  • 13个北京市
  • 2个陕西省
  • 1个上海市
共 16 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱爱斌
供职机构：西安交通大学
研究主题：外骨骼 外骨骼机器人 穿戴 机器人 下肢外骨骼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩桂全
供职机构：清华大学
研究主题：抛光垫 化学机械抛光 工作表面 工艺技术 化学机械平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门延武
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张浩
供职机构：清华大学
研究主题：功率密度 交互过程 燃尽风 深度数据 预燃室
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪家道
供职机构：清华大学
研究主题：减阻 表面形貌 自组装 基底表面 咽拭子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
司丽娜
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：超精密加工 分子动力学模拟 分子动力学 硅团簇 单晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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