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浙江省自然科学基金(R1080568)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：居冰峰葛耀峥吴蕾更多>>
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地区

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共 3 条 记 录，以下是 1-3
居冰峰
供职机构：浙江大学
研究主题：超精密 超精密加工 共焦 测量系统 亚表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
葛耀峥
供职机构：浙江大学
研究主题：PLC 斜盘 控制系统 试验机 柱塞泵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴蕾
供职机构：信息产业部电子第五研究所
研究主题：亚微米 尺寸效应 测量技术 MEMS器件 形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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