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上海市科委纳米专项基金(0352nm017)
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张冬梅
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丁桂甫
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姜政
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 双稳态 光刻胶 微机电系统 微加工
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程光明
供职机构:浙江师范大学
研究主题:压电振子 压电 压电泵 压电片 泵腔
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张宏壮
供职机构:吉林大学
研究主题:压电双晶片 压电 压电叠堆 柔性铰链 悬臂
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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吴惠菁
供职机构:上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:锌 牺牲 微加工 电化学沉积 电化学
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赵宏伟
供职机构:吉林大学计算机科学与技术学院
研究主题:计算机应用 压电 高压小流量 柔性铰链 振动钻削
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张冬梅
供职机构:上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:锌 牺牲 微加工 电化学沉积 电化学
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吴博达
供职机构:吉林大学
研究主题:柔性铰链 压电叠堆 压电振子 压电泵 压电
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