您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(50575121)

作品数：3 被引量：12H指数：3
相关作者：张振宇雒建斌路新春更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术航空宇航科学技术化学工程天文地球更多>>

领域

  • 3个化学工程
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个交通运输工程
  • 3个一般工业技术
  • 3个文化科学
  • 3个理学
  • 2个经济管理
  • 2个动力工程及工...
  • 2个电气工程
  • 2个医药卫生
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个石油与天然气...
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个航空宇航科学...

主题

  • 3个单晶
  • 3个导轨
  • 3个等离子
  • 3个等离子喷涂
  • 3个等离子喷涂法
  • 3个电机
  • 3个电控
  • 2个单晶硅
  • 2个单晶硅片
  • 2个单晶铜
  • 2个氮化
  • 2个弹流
  • 2个弹流润滑
  • 2个弹性环
  • 2个挡板
  • 2个导体
  • 1个大锥度
  • 1个单点金刚石车...
  • 1个单晶金刚石
  • 1个单晶纳米线

机构

  • 3个清华大学
  • 1个大连理工大学
  • 1个复旦大学
  • 1个吉林大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个西安冶金建筑...
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院
  • 1个香港城市大学
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国科学院金...
  • 1个青华大学
  • 1个清华大学研究...

资助

  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个创新研究群体...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个教育部重点实...
  • 2个教育部跨世纪...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个上海市科委科...
  • 2个中央高校基本...
  • 1个教育部长江学...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个北京市教委重...
  • 1个长江学者奖励...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个辽宁省自然科...

传媒

  • 3个科学通报
  • 3个机械工程学报
  • 3个中国机械工程
  • 3个润滑与密封
  • 3个中国表面工程
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个物理学报
  • 2个清华大学学报...
  • 2个摩擦学学报（...
  • 2个材料研究学报
  • 2个航空制造技术
  • 2个中国科学基金
  • 2个中国基础科学
  • 2个压电与声光
  • 2个自然科学进展...
  • 2个数字制造科学
  • 1个光学精密工程
  • 1个农业工程学报
  • 1个钢铁
  • 1个金属学报

地区

  • 2个北京市
  • 1个辽宁省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张振宇
供职机构：大连理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光 抛光液 超精密加工 透射电镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0