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国家自然科学基金(50575131)

作品数：8 被引量：69H指数：5
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相关领域：机械工程一般工业技术理学更多>>

领域

  • 11个机械工程
  • 9个金属学及工艺
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主题

  • 11个化学机械抛光
  • 11个机械抛光
  • 10个抛光
  • 10个纳米
  • 8个抛光液
  • 8个计算机
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  • 6个计算机硬盘
  • 6个高精密
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机构

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  • 1个上海市力学在...
  • 1个清华大学研究...
  • 1个东莞上海大学...

资助

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传媒

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  • 2个腐蚀与防护
  • 2个化学建材
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  • 2个硅酸盐通报
  • 2个高等学校化学...
  • 2个太阳能学报
  • 2个科学通报
  • 2个金属学报
  • 2个物理学报
  • 2个涂料工业

地区

  • 9个上海市
  • 2个北京市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
雷红
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢海参
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 CMP 氧化铝 波纹度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鹏珍
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 计算机硬盘 抛光液 纳米氧化铈 超精加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖保其
供职机构：上海大学
研究主题：抛光液 化学机械抛光 高精密 CMP 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张泽芳
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 氧化铝 抛光液 抛光 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
褚风灵
供职机构：上海大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张剑平
供职机构：上海大学
研究主题：脱硝催化剂 电容型 脱盐 电极 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施利毅
供职机构：上海大学
研究主题：脱硝催化剂 石墨烯 纳米 电容型 脱盐
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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