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国家自然科学基金(90207006)

作品数：10 被引量：17H指数：3
相关作者：夏善红王奇赵湛方震张博军更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所中国科学院研究生院更多>>
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地区

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共 19 条 记 录，以下是 1-10
赵湛
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS MEMS技术 无线传感器网络 传感器 风速风向传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾欢欢
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 氮化硅 聚酰亚胺 集成传感器 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏善红
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王奇
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：MEMS 氮化硅 压力传感器 反应离子刻蚀 聚酰亚胺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张博军
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 集成传感器 MEMS技术 湿压 氮化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方震
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 无线传感器网络 传感器 血压 MEMS技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭春荣
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 电场测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建刚
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：SI 温度系数 自组装 微器件 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈贤祥
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 热驱动 血压 屏蔽电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶虎
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 微机电系统 有限元
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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