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北京市科委项目(GYYKW0507009)
作品数:
2
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林惠旺
张兆华
许东华
刘理天
任天令
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北京市科委项目
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许东华
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:压阻式压力传感器 压力传感器 压阻式 残余应力 阳极键合
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张兆华
供职机构:清华大学
研究主题:压力传感器 TPMS 混频器 环形振荡器 汽车电子
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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林惠旺
供职机构:清华大学
研究主题:超大规模集成电路 半导体 压力传感器 压阻式压力传感器 灵敏度
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谭智敏
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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