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国家自然科学基金(51105317)

作品数：8 被引量：27H指数：3
相关作者：邓进军马炳和苑伟政王树山孙小东更多>>
相关机构：西北工业大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信更多>>

领域

  • 15个自动化与计算...
  • 13个航空宇航科学...
  • 11个电子电信
  • 7个机械工程
  • 6个一般工业技术
  • 6个理学
  • 4个金属学及工艺
  • 4个电气工程
  • 4个文化科学
  • 3个经济管理
  • 3个化学工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个交通运输工程
  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个动力工程及工...
  • 1个水利工程
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 11个应力
  • 11个感器
  • 11个传感
  • 11个传感器
  • 10个剪应力
  • 9个电路
  • 9个刻蚀
  • 8个流体
  • 8个绝缘体上硅
  • 8个集成电路
  • 7个电路制造
  • 7个微机电系统
  • 7个集成电路制造
  • 7个集成电路制造...
  • 7个半导体
  • 6个压力传感器
  • 6个数学模型
  • 5个电容检测
  • 5个正交
  • 4个正交实验设计

机构

  • 16个西北工业大学
  • 1个华中科技大学

资助

  • 16个国家自然科学...
  • 6个国家重大科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个机械系统与振...
  • 3个中国航空科学...
  • 2个国防基础科研...
  • 2个陕西省教育厅...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个陕西省自然科...
  • 2个西北工业大学...
  • 2个中央高校基本...
  • 1个航天支撑技术...
  • 1个教育部“新世...
  • 1个陕西省科学技...
  • 1个西安应用材料...
  • 1个中航工业产学...

传媒

  • 9个航空精密制造...
  • 8个航空学报
  • 8个传感器与微系...
  • 7个微纳电子技术
  • 6个实验流体力学
  • 6个航空工程进展
  • 5个传感技术学报
  • 4个西北工业大学...
  • 4个机械工程学报
  • 4个仪表技术与传...
  • 4个压电与声光
  • 3个光学精密工程
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个计量学报
  • 3个中国机械工程
  • 3个光子学报
  • 2个半导体技术
  • 2个机电工程
  • 2个机械强度
  • 2个微电子学与计...

地区

  • 16个陕西省
共 16 条 记 录，以下是 1-10
邓进军
供职机构：西北工业大学
研究主题：剪应力 微传感器 传感器 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马炳和
供职机构：西北工业大学
研究主题：剪应力 微传感器 传感器 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苑伟政
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王树山
供职机构：西北工业大学
研究主题：射流器 合成射流 湿法刻蚀 压电 硅片键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庄成乾
供职机构：西北工业大学
研究主题：射流器 MEMS 绝缘体上硅 正交实验设计 压电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李雁冰
供职机构：西北工业大学
研究主题：剪应力 测试装置 测量方法 恒流源 信号调理电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙小东
供职机构：西北工业大学
研究主题：谐振 微机电系统 谐振式压力传感器 SOI 闭环回路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩蕾
供职机构：西北工业大学
研究主题：剪应力 微传感器 变体飞行器 复合结构 形状记忆合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任森
供职机构：西北工业大学
研究主题：谐振式压力传感器 谐振 微机电系统 硅 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙海浪
供职机构：西北工业大学
研究主题：MEMS 压阻式 压敏电阻 保护环 高灵敏度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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