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国家重点基础研究发展计划(B1999033102)
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赵湛
夏善红
秦宁
陈绍凤
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相关机构:
中国科学院电子学研究所
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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赵湛
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:MEMS MEMS技术 无线传感器网络 传感器 风速风向传感器
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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陈绍凤
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
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秦宁
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:微针 MEMS 电磁驱动 SU-8胶 硅
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