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国家自然科学基金(60776029)

作品数：5 被引量：22H指数：3
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领域

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主题

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机构

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资助

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地区

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共 12 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻 工件台 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旺富
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋文波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像系统 位相型 光刻 纳米光刻 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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