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上海市科委科研计划项目(0452nm013)

作品数：2 被引量：20H指数：2
相关作者：雒建斌路新春黄义潘国顺雷红更多>>
相关机构：清华大学上海大学清华大学研究院更多>>
发文基金：上海市科委科研计划项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

领域

  • 8个电子电信
  • 7个金属学及工艺
  • 6个机械工程
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主题

  • 8个化学机械抛光
  • 8个机械抛光
  • 7个抛光
  • 6个单晶
  • 6个单晶硅
  • 6个单晶硅片
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  • 2个弹流润滑
  • 2个弹性环
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机构

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  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个中国科学院金...
  • 1个青华大学

资助

  • 8个国家自然科学...
  • 8个上海市科委科...
  • 6个国家重点基础...
  • 4个上海市科委纳...
  • 3个中国博士后科...
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  • 1个国家高技术研...
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传媒

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  • 6个摩擦学学报（...
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  • 4个机械工程学报
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  • 2个材料保护
  • 2个机械工程材料
  • 2个功能材料

地区

  • 6个北京市
  • 1个上海市
  • 1个广东省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雷红
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇宏
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄义
供职机构：清华大学研究院
研究主题：表面形貌 硅片 化学机械抛光 单晶硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：铜 化学机械抛光 氨基乙酸 腐蚀坑 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王亮亮
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：表面形貌 化学机械抛光 磁头 硅片 单晶硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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