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国家自然科学基金(51075195)
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何勍
刘政
徐建立
徐俊艳
高萍
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何勍
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:压电振子 振子 直线超声电机 超声振动 行波
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刘政
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:喷泉码 超声振动 行波 压电振子 硅片
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徐建立
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:压电振子 圆筒形 超声振动 流体 压电
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所获资助
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徐俊艳
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:超声振动 行波 硅片 化学机械抛光 超声
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供职机构
所获资助
研究领域
高萍
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:压电振子 超声振动 超声 硅片 化学机械抛光
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白洋
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:压电换能器 压电 换能器 模态分析 有限元
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陈晔
供职机构:辽宁工业大学机械工程与自动化学院
研究主题:滚珠丝杠副 金 教学改革 混合式教学 机床
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李英华
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:抛光 振子 压电振子 工作表面 椭圆运动
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张玉成
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:变电压 耦合剂 抛光装置 抛光液 抛光硅片
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王宏祥
供职机构:辽宁工业大学机械工程与自动化学院
研究主题:压电振子 振子 直线超声电机 超声电机 行波
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