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上海市科委重大科技攻关项目(02dz11020)
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刘景全
陈迪
赵小林
蔡炳初
杨春生
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陈迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
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顾盼
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 纳米压印 防粘连 表面能 RIE
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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孙洪文
供职机构:河海大学物联网工程学院
研究主题:纳米压印 母板 纳米图案 微机电系统 微电子工艺
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朱军
供职机构:上海交通大学
研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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蔡炳初
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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