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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所

作品数：303 被引量：866H指数：12
相关作者：高宝红李炎王其民栾晓东李洪波更多>>
相关机构：河北科技大学化学与制药工程学院天津理工学院光电信息与电子工程系河北科技大学人事处更多>>
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相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术化学工程更多>>

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共 115 条 记 录，以下是 1-10
高宝红
作品数：70被引量：48H指数：4
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炎
作品数：29被引量：32H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：聚苯胺 防腐涂料 磨料 表面粗糙度 涂料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王其民
作品数：16被引量：28H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：纳米材料 气敏传感器 ANDROID 变压器 空载合闸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
栾晓东
作品数：11被引量：34H指数：5
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 碱性 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李洪波
作品数：10被引量：15H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：磨料 黏度 表面粗糙度 铜 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐文栋
作品数：9被引量：20H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 硬盘基板 化学机械抛光 粗糙度 浆料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娜
作品数：9被引量：21H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：半绝缘砷化镓 SI-GAAS 大直径 抛光液 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑伟艳
作品数：8被引量：36H指数：4
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓海文
作品数：8被引量：17H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 螯合剂 粗糙度 A/O F
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武晓玲
作品数：8被引量：20H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 铌酸锂 抛光速率 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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