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王建

作品数：60 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金四川省杰出青年科技基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 51篇专利
  • 9篇期刊文章

领域

  • 9篇机械工程
  • 8篇自动化与计算...
  • 7篇电子电信
  • 4篇理学
  • 2篇轻工技术与工...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇医药卫生

主题

  • 25篇光刻
  • 14篇投影光刻
  • 10篇物镜
  • 9篇光刻机
  • 9篇光学
  • 8篇动镜
  • 8篇照明
  • 8篇投影光刻机
  • 8篇镜片
  • 8篇光束
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇控制系统
  • 6篇光刻物镜
  • 6篇光源
  • 6篇波像差
  • 5篇调节机构
  • 5篇柔性铰链
  • 4篇调焦

机构

  • 60篇中国科学院
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇华南理工大学

作者

  • 60篇王建
  • 36篇胡松
  • 20篇赵立新
  • 17篇严伟
  • 16篇邢薇
  • 14篇杨勇
  • 13篇陈铭勇
  • 13篇李艳丽
  • 13篇刘俊伯
  • 9篇徐文祥
  • 9篇朱咸昌
  • 9篇全海洋
  • 6篇陈磊
  • 6篇马平
  • 3篇唐小萍
  • 3篇张雨东
  • 3篇冯金花
  • 2篇林妩媚
  • 2篇董小春
  • 2篇高洪涛

传媒

  • 3篇光电工程
  • 1篇中国仪器仪表
  • 1篇中国激光
  • 1篇光学学报
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇计测技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2024
  • 10篇2023
  • 4篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 4篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2014
  • 5篇2013
  • 9篇2012
  • 11篇2011
  • 3篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 60 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法
本发明公开了一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法，该装置包括照明系统、掩模、掩模台、温度与压强传感器、光刻物镜、夏克‑哈特曼传感器、传感器运动台、干涉仪和环境控制系统。沿所述照明系统激光照明方向依次是安装在掩模台上...
李天全海洋刘俊伯朱咸昌王建胡松杜婧周吉
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框及镜筒上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微...
王建胡松赵立新邢薇
一种光闸莫尔条纹焦面检测方法
本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统，用于投影光刻机非接触快速焦面检测，该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成，该系统基于三角测量的基本原...
严伟李艳丽杨勇王建陈铭勇邸成良
一种动镜弹性支撑装置
本发明提供一种动镜弹性支撑装置，该装置包括：镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)、镜片(200)、压圈(300)；镜片框(1)开有一圆孔(500)，并在底座(400)上设计有三个台阶作...
邢薇赵立新胡松王建李金龙
文献传递
一种光束传输稳定装置
本发明提供一种光束传输稳定装置，用于将激光器发射光束传输到照明系统，在所述传输光路上放置光束控制模块，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)；在光束控制模块的出射光路...
甘大春王建林妩媚张海波廖志杰
文献传递
一种可调光束能量衰减装置
本发明是一种光束能量可调衰减装置，放置于投影光刻机中光源和照明系统之间，第一平板玻璃与第二平板玻璃相对放置，使得入射光束经过第一平板玻璃和第二平板玻璃后产生所需强度的输出光束输入到照明系统当中。第一平板玻璃与第二平板玻璃...
李艳丽胡松严伟王建邢薇杨勇陈铭勇
一种红外成像光学读出系统的照明装置
一种红外成像光学读出系统的照明装置包括光源(1)、采集同步模块(2)、偏振片(3)、光学镜头组(4)；所述采集同步模块(2)为一可控快门模块，由控制器和快门执行模块组成，控制器通过读出系统整机的中控系统控制，使快门执行模...
王建赵立新陈铭勇胡松
文献传递
一种纳米光刻对准系统
一种纳米光刻对准系统，其特征在于：对准光源发出的光线经透镜A、分光镜A反射、显微物镜后照射在掩模和硅片上，掩模和硅片上的衍射光栅标记在对准光源作用下产生衍射光束干涉条纹，掩模上的对准标记图像经显微物镜、分光镜A、分光镜B...
马平邢薇胡松唐小萍王建
文献传递
一种高精度调焦调平测量系统
本发明提出了一种高精度调焦调平测量系统，该测量系统采用四通道检测的方式，通过测得基片上的四点高度，确定当前曝光场内垂直方向的离焦量和水平方向的倾斜度，从而实现基片的调焦调平。基片高度的检测是基于光强调制的双光路叠栅条纹检...
李艳丽严伟冯金花王建
文献传递
一种用于光刻设备中的光束稳定装置
本发明是一种光刻设备中的光束稳定装置，是光刻设备的照明单元中稳定照明光束的位置和指向角度的装置，所述光束稳定装置包括一个光束稳定探测装置和光束稳定调节装置，光束稳定探测装置和光束稳定调节装置位于光刻设备中光源和光刻设备照...
王建赵立新徐文祥严伟胡松
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