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邢薇

作品数：69 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程生物学更多>>

合作作者

文献类型

  • 67篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 6篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇经济管理
  • 1篇生物学
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 33篇光刻
  • 18篇光刻机
  • 11篇掩模
  • 10篇生物芯片
  • 10篇投影光刻
  • 8篇动镜
  • 8篇物镜
  • 7篇片夹
  • 6篇柔性铰链
  • 6篇投影光刻机
  • 6篇像质
  • 6篇镜片
  • 6篇激光
  • 6篇光刻系统
  • 6篇步进
  • 6篇成像质量
  • 5篇照明
  • 5篇轴向
  • 5篇激光干涉
  • 5篇激光干涉仪

机构

  • 69篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 69篇邢薇
  • 54篇胡松
  • 30篇唐小萍
  • 28篇赵立新
  • 20篇严伟
  • 16篇王建
  • 14篇王肇志
  • 14篇王淑蓉
  • 13篇杨勇
  • 13篇徐文祥
  • 9篇马平
  • 8篇张正荣
  • 8篇胡淘
  • 6篇岑辉
  • 6篇罗正全
  • 4篇陈磊
  • 4篇刘业异
  • 4篇杨春利
  • 4篇邓玖根
  • 4篇姚汉民

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 6篇2013
  • 11篇2012
  • 13篇2011
  • 8篇2010
  • 5篇2009
  • 7篇2008
  • 2篇2007
  • 5篇2006
  • 3篇2005
  • 3篇2004
  • 2篇2003
共 69 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光子筛直写光刻机操作控制柜
1．本外观设计产品的名称：光子筛直写光刻机操作控制柜。;2．本外观设计产品的用途：激光直写光刻。;3．本外观设计的设计要点：在于产品的形状。;4．最能表明设计要点的图片或者照片：主视图。;5．本外观设计产品没有底座故省略...
杨春利严伟陈磊王淑蓉邢薇
文献传递
一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置
一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置：一基板，上面平行地固定有两个滚轮支架，每个滚轮支架上各安装有一转销，并每个转销上装有一呈凹槽的轮架，且所述轮架凹槽的两端朝向上方；滚轮支架上固定有一左挡销和一右挡销，所述左挡销和右挡...
邢薇王肇志胡松
一种电子束曝光机片夹库系统
一种具有编码识别的电子束曝光机片夹库系统，由Z向运动台、用于放置片夹的片架、齿轮箱、升降台、计算机控制系统组成，在计算机控制系统的控制下，通过驱动电机带动齿轮箱内齿轮旋转，带动Z向运动台作Z向运动，使片架作Z向运动，带动...
王淑蓉王肇志张正荣邢薇赵立新胡松唐小萍
文献传递
一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置
一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，安装在一底座上，该底座的四个角上各设有一弯板，底座的上方开设有四个沉孔；底座的两侧中间设有转轴，转轴的上部套设有转盘；转盘上水平向地设有叉杆，通过铰链与转盘连接，两个叉杆的另一...
邢薇胡松王肇志
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框及镜筒上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微...
王建胡松赵立新邢薇
一种纳米光刻对准系统
一种纳米光刻对准系统，其特征在于：对准光源发出的光线经透镜A、分光镜A反射、显微物镜后照射在掩模和硅片上，掩模和硅片上的衍射光栅标记在对准光源作用下产生衍射光束干涉条纹，掩模上的对准标记图像经显微物镜、分光镜A、分光镜B...
马平邢薇胡松唐小萍王建
文献传递
具有均匀照明系统的CCD生物芯片检测仪
具有均匀照明系统的CCD生物芯片检测仪，它是由氙灯、均匀照明光学元件、窄带激发滤光片、窄带发射滤光片、镜头和CCD像机组成，由氙灯发出的白光经过均匀照明光学元件变成一束光强均匀的平行光，经窄带激发滤光片滤除其它波长的光，...
唐小萍姚汉民岑辉刘业异王淑蓉胡松邢薇张强
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生物芯片仪器研制
姚汉民胡松吴岚军唐小萍刘业异王理明赵立新张春野罗正全王肇志王淑蓉严佩英严伟闫献勇邢薇王珺徐文祥高钧何坤尧刘鸿林云生胡志成余国彬马平陈兴俊
“生物芯片仪器研制”是中国科学院知识创新重大项目之一，该项目设置“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、“生物芯片点样仪”、“CCD生物芯片检测仪”三个研发课题。项目瞄准国际发展趋势，创新研发了“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、“CC...
关键词：
用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法
本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法，包括：扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动，Y向电机在Y轴向上做间歇步进，生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台在X轴向移动至扫描区域内，对生物芯片...
胡淘胡松邢薇徐文祥
文献传递
一种动镜二维平面调整装置
本发明一种动镜二维平面调整装置，由两个连杆、驱动器和压电陶瓷、八个柔性铰链和三个支撑架构成；在第一层支撑架上固定有第一驱动器；第一柔性铰链至第四柔性铰链位于第一和第二层支撑架之间，并通过四个柔性铰链与第二层支撑架相连；在...
赵立新胡松邢薇杨勇王建
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