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王昌华

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇研磨
  • 1篇污染
  • 1篇污染分析
  • 1篇磨料
  • 1篇硅片
  • 1篇硅

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇王昌华
  • 1篇张德贤
  • 1篇龚彬

传媒

  • 1篇西安交通大学...

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
国产磨料的杂质及研磨对硅片的污染分析被引量：1
1990年
本文研究了国产磨料的成分、杂质和磨料、磨具对硅片的污染,分析了铁对硅器件的危害,提出了减少污染的方法.
张德贤王昌华龚彬
关键词：研磨硅磨料污染
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共1页<1>
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