王少南
- 作品数:3 被引量:1H指数:1
- 供职机构:北京大学更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:电子电信核科学技术更多>>
- 超薄硅PIN探测器工艺与性能研究
- 随着航天事业的发展,空间辐射探测的重要性越来越突出。以超薄PIN探测器和厚探测器组成的望远镜系统在粒子种类鉴别领域应用广泛,同时超薄PIN探测器具有体积小、结构简单、性能好、可靠性高等优点,这使得超薄PIN探测器成为核辐...
- 王少南
- 关键词:漏电流机械性能
- 硅条形探测器条间距优化的模拟研究
- 2014年
- 由于硅条形粒子探测器目前广泛应用于高能物理、物品检测和核医学成像等方面,其形状参数对工作特性的影响也愈发引人关注。采用半导体器件的仿真软件Sentaurus TCAD模拟研究了给定探测条宽度的硅条形探测器相邻探测条的间距变量对探测器工作性能的影响,其模拟结果表明较小的间距可以减小体内电场强度和体内漏电流,有助于提高探测器的电学性能。
- 刘宏智杨兵于民王少南胡安琪石宝华杨昉东
- 关键词:电场强度漏电流仿真
- 采用Sn中介层的覆Al薄膜硅片键合技术研究被引量:1
- 2014年
- 研究采用Sn作为中间层键合覆盖Al薄膜的硅片。相对于Al-Al直接热压键合,该系统能提供低温、低压、快速的圆片级键合方案。采用直径为100 mm硅片,溅射一层500 nm厚度的Al层后,在N2气氛下进行450°C,30分钟退火,采用Ar等离子体清洗后,溅射一层500 nm厚度的Sn层。将硅片金属面紧贴在一起放入键合机中键合,在真空中进行。键合时间为3分钟条件下,得到平均剪切强度为9.9 MPa,随着键合时间增加,剪切强度显著降低。
- 朱智源于民胡安琪王少南缪旻陈兢金玉丰
- 关键词:低压剪切强度