于海利
- 作品数：104 被引量：102H指数：7
- 供职机构：首钢集团更多>>
- 发文基金：国家重大技术装备创新研制项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置
- 本发明涉及光栅刻划技术领域，具体公开一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置。本发明包括刀架升降机构、刀架支撑架、微定位工作台、工作台安装座、柔性铰链、压电陶瓷、拉簧、小刀架、金刚石刻刀；压电陶瓷与微定位工作台通过...
- 李晓天于海利唐玉国刘兆武杨超齐向东
- 文献传递
- 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响被引量：1
- 2017年
- 设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。按照光栅复制拼接光路的要求,设计了一种干涉仪角度调节装置。根据误差模型和拼接光路分析了500mm×500mm大尺寸中阶梯光栅复制拼接光路中入射光角度误差与拼接误差的关系。结果显示:入射光角度误差为1°,拼接光路中绕x轴,y轴的转动误差Δθx,Δθy和沿z轴的位移误差Δz的计算值与实际值之间分别相差0.002 1μrad,0.003 3μrad和0.348 2nm时,引起波前差为2.590 1nm。根据这一计算结果,给出了干涉仪角度调节装置的设计指标,即设置角度调节分度为0.1°时,可满足大尺寸光栅复制拼接要求。
- 丛敏齐向东糜小涛于海利于海利李晓天
- 关键词：误差分析
- 一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法
- 本发明公开一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法，包括：采用所述激光干涉计对刻划刀架的固有位置误差进行测量；采用衍射波前测量仪对所述光栅基底的面形误差进行测量；根据步骤一测量得到的刻划刀架固有位置误差和步骤二得到的光栅基底...
- 李晓天于海利唐玉国刘兆武杨超齐向东
- 文献传递
- 一种光栅刻划装置及具有该装置的光栅刻划机
- 本发明提供的光栅刻划装置及刻划机，包括刻划电机1、驱动轮2、导轨3、传动带4、支架5、横梁6、第一转接板7、第二转接板8、第三转接板9、第四转接板10、第一接近开关11、第一霍尔开关12、第二霍尔开关13、第三霍尔开关1...
- 唐玉国糜小涛于宏柱于海利李晓天丛敏齐向东巴音贺希格
- 文献传递
- 一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法
- 本申请公开了一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法，所述拼接光栅拼接误差检测系统包括：干涉仪、棱镜、第一反射部和第二反射部；所述拼接光栅拼接误差检测系统利用干涉仪和棱镜实现了向所述待检测光栅发送两束不同入射角的入...
- 齐向东卢禹先李晓天于海利于宏柱张善文巴音贺希格唐玉国吉日嘎兰图
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- 光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法
- 本发明公开了一种光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法，其包括基座、转盘、基准镜、支架和刀架安装座，测量时，测量装置处于基准位置，即第一定位标识和第二定位标识重合，将带有刀刃不倾斜的刻划刀的刀架安装在刀架安装座上，刻划刀...
- 糜小涛唐玉国于海利姚雪峰宋楠齐向东巴音贺希格
- 光栅划刻机及其工作台的锁紧装置
- 本发明公开了一种光栅刻划机工作台的锁紧装置，用于锁紧配合的下导轨和上导轨，包括支座和电磁铁，其中，电磁铁安装在支座上，并且得电后具有磁性，该电磁铁与上导轨相对的部分和与下导轨相对的部分的磁性相反，以吸合上导轨和下导轨。电...
- 于海利唐玉国糜小涛于宏柱张善文李晓天吉日噶兰图齐向东巴音贺希格
- 文献传递
- 大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法
- 大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法，涉及衍射光栅制作技术领域，解决现有光栅拼接方法需要重复和持续采用高精度控制调整技术，对支架稳定性要求高，并且采用曝光方法时存在调整与锁定系统之间存在漂移误差等问题，利用一块光栅母版，在光...
- 张善文卢禹先齐向东李晓天于海利于宏柱巴音贺希格唐玉国吉日嘎兰图
- 一种光栅膜层的制备方法
- 本申请公开了一种光栅膜层的制备方法，包括：预先获取镀膜机的镀膜均匀性轮廓图，镀膜均匀性轮廓图为在理论镀膜厚度下，镀膜机镀膜区域内各位置与各位置对应的实际镀膜厚度之间的关系图；根据镀膜均匀性轮廓图对光栅基底的第一表面进行加...
- 糜小涛张善文齐向东周敬萱江思博于宏柱于海利
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- 拼接光栅的拼接误差校正系统及方法
- 本发明实施例提供了拼接光栅的拼接误差校正系统及方法，该系统中依据目标第一入射角、目标第二入射角以及第一检测光的波长计算出的预设垂直阈值大于等于预设肉眼分辨值，即增大了对垂直于拼接光栅平面的平移误差调节的周期，且预设垂直阈...
- 齐向东卢禹先李晓天于海利于宏柱张善文巴音贺希格唐玉国吉日嘎兰图
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