您的位置： 专家智库 > >

肖荣晖

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国有色工程设计研究总院更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇三氯氢硅
  • 2篇电子材料
  • 2篇冶金
  • 2篇有色
  • 2篇有色冶金
  • 2篇四氯化硅
  • 2篇提纯
  • 2篇提纯方法
  • 2篇提纯塔
  • 2篇筒形结构
  • 2篇气固
  • 2篇气固分离
  • 2篇气体分布板
  • 2篇氯硅烷
  • 2篇氯化
  • 2篇氯化硅
  • 2篇硅烷
  • 2篇分布板
  • 2篇操作温度

机构

  • 4篇中国有色工程...

作者

  • 4篇汤传斌
  • 4篇肖荣晖
  • 4篇沈祖祥
  • 4篇严大洲

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 2篇2005
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
三氯氢硅加压提纯方法及其装置
一种三氯氢硅加压提纯方法及其装置，将待提纯的三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷混合液输入提纯塔的加料口，混合液经提纯塔下流至蒸馏釜，蒸馏釜压力为0.15MPa～1.5MPa、温度为70℃～200℃：从蒸馏釜出来的蒸汽进入提纯塔中...
沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖
文献传递
三氯氢硅加压提纯方法及其装置
一种三氯氢硅加压提纯方法及其装置，将待提纯的三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷混合液输入提纯塔的加料口，混合液经提纯塔下流至蒸馏釜，蒸馏釜压力为0.15MPa～1.5Mpa、温度为70℃～200℃；从蒸馏釜出来的蒸汽进入提纯塔中...
沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖
文献传递
大型三氯氢硅合成装置及合成方法
一种大型三氯氢硅合成装置，为筒形结构，上部筒体直径扩大部分是气固分离段，该段设有出料口，中部的直筒段是反应段，反应段外包加热器，加热器上方设有硅粉进料口，底部连接下封头，下封头上开有氯化氢进气口，下封头还开有排渣口，其筒...
沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖
文献传递
大型三氯氢硅合成装置及合成方法
一种大型三氯氢硅合成装置，为筒形结构，上部筒体直径扩大部分是气固分离段，该段设有出料口，中部的直筒段是反应段，反应段外包加热器，加热器上方设有硅粉进料口，底部连接下封头，下封头上开有氯化氢进气口，下封头还开有排渣口，其筒...
沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0