韩东艳
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：北京师范大学核科学与技术学院射线束技术与材料改性实验室更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目国家重点基础研究发展计划北京市重点实验室更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- TiAlN薄膜的磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积制备的研究被引量：1
- 2011年
- 采用磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积技术,在室温、钛合金和Si(100)单晶表面制备了TiAlN薄膜.利用SEM、XRD、EDS和XPS等对薄膜的微观组织结构及化学组分进行了观察测试分析,探讨了磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积技术的工艺参数对TiAlN薄膜结构的影响.
- 梁昌林程国安郑瑞廷韩东艳
- 关键词：TIALN薄膜梯度过渡层钛合金
- 掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用
- 2009年
- 建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射角扫描的角度分辨率。为了提高工作效率,编写了该系统的自动控制软件,实现了样品的自动扫描。利用该系统对采用金属蒸汽真空电弧(MEVVA)源离子束和薄膜沉积技术制备的纳米薄膜进行了掠入射X射线荧光和二维扫描分析。实验结果表明:该系统能有效地分析纳米厚度的薄膜,通过对薄膜进行掠出射角扫描分析和表面的二维扫描分析,得到了薄膜的厚度,密度及均匀性等信息。微区分析的空间分辨率可达到41.7μm,实际空间分辨率为扫描步长50μm。系统可用于分析薄膜样品,且荧光强度高,所需时间短,获得的信息全面丰富,数据可靠。
- 杨君刘志国徐清韩东艳林晓燕杜晓光Kouichi Tsuji丁训良
- 关键词：全反射
