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李哲深
作品数:
5
被引量:9
H指数:2
供职机构:
复旦大学物理学系应用表面物理国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
袁泽亮
复旦大学物理学系应用表面物理国...
丁训民
复旦大学物理学系应用表面物理国...
侯晓远
复旦大学物理学系应用表面物理国...
曹先安
复旦大学物理学系应用表面物理国...
胡海天
复旦大学物理学系应用表面物理国...
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S_2Cl_2钝化的GaAs表面的同步辐射光电子能谱研究
被引量:3
1998年
前已发现,将GaAs(100)晶片浸入S2Cl2或S2Cl2+CCl4溶液是实现GaAs表面钝化的一种有效途径.用同步辐射光电子能谱研究这种表面能直接测量S2p芯能级谱,从而揭示,在浸泡后的表面存在多种形态的含硫化合物.AsxSy是其中的主要成分,但轻度退火就能去除.随着退火过程中S原子从As-S转移到Ga-S,Ga3d谱中始终出现两个与Ga-S相关的分量。
胡海天
丁训民
袁泽亮
李哲深
曹先安
侯晓远
陆尔东
徐世红
徐彭寿
张新夷
关键词:
砷化镓
钝化
GaAs(100)面上气相淀积生长GaS钝化膜
1998年
用加热分解α-G_2S_3的方法在GaAs(100)表面上气相沉积了准单晶的GaS钝化膜。俄歇电子能谱深度分布测量表明,长成的膜与衬底间界面清晰。用紫外光电子能谱和低能电子能量损失谱结合的方法得到了完整的GaS/GaAs异质结能带结构图,即价带偏移1.5eV,导带偏移0.3eV,界面附近存在0.4eV的能带弯曲。气相淀积方法简单实用,有希望发展成为GaAs器件制作的有用工艺。
曹先安
胡海天
丁训民
陈溪滢
袁泽亮
李哲深
侯晓远
关键词:
气相淀积
砷化镓
钝化膜
中性(NH_4)_2S溶液钝化GaAs(100)表面的研究
被引量:5
1998年
采用同步辐射光电子能谱(SRPES)结合扫描电子显微镜(SEM)和称量法,研究了中性(NH4)2S溶液钝化GaAs(100)表面,并与常规(NH4)2S碱性溶液钝化方法进行了比较.SRPES结果表明该处理方法可以产生较厚的Ga硫化物层和较强的Ga—S键,Ga的硫化物有好的稳定性.称量法表明该方法有更低的腐蚀速率.SEM结果表明该方法钝化处理的GaAs表面所产生的腐蚀坑数目少,直径小.
袁泽亮
丁训民
胡海天
李哲深
杨建树
缪熙月
陈溪滢
曹先安
侯晓远
陆尔东
徐世红
徐彭寿
张新夷
关键词:
SEM
表面钝化
砷化镓
热壁外延法生长Zn_(1-x)Mn_xSe半磁半导体薄膜
被引量:1
1992年
作者用热壁外延方法在(100)GaAs衬底上生长Zn_(1-x)Mn_xSe拉半磁半导体薄膜,并用X射线衍射(XRD)、喇曼散射、俄歇电子能谱(AES)等技术对薄膜性能作了研究.实验结果表明已成功地生长出(100)Zn_(1-x)Mn_xSe单晶薄膜,其中x最大达到0.17.
王杰
吕宏强
沈军
李哲深
王建宝
沈孝良
关键词:
热壁外延
半磁半导体
GaAs(100)表面的硫钝化
李哲深
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