胡楚雄
- 作品数：91 被引量：13H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信机械工程更多>>
- 电机转子的初始角度确定方法、装置、设备及存储介质
- 本申请提供一种电机转子的初始角度确定方法、装置、设备及存储介质，涉及电机控制领域，方法包括：确定电机转子的第一角度参考值；其中，第一角度参考值用于表征电机转子静止时的初始位置，第一角度参考值对应有极性角度附加值，极性角度...
- 胡楚雄赵紫延吴帅虎汪泽
- 电机的闭环控制方法、装置和设备
- 本申请提供一种电机的闭环控制方法、装置和设备，该方法通过获得反电动势积分的积分曲线，建立起每一相位的反电动势积分曲线与动子位置之间的连动曲线，将每一相位的连动曲线中的累积误差进行抵消处理，进而得到每一相位的处理后的连动曲...
- 胡楚雄赵紫延汪泽吴帅虎
- 文献传递
- 3自由度硅片台解耦时变参数在线递推估计被引量：1
- 2016年
- 在光刻机硅片台高精度运动控制系统中,线缆对硅片台运动产生的扰动是一个主要的扰动源。这是由于线缆部件附加在硅片台上的扰动力和力偶导致了系统的耦合问题,恶化了系统运动控制的性能。该文通过对硅片台粗动台的力学建模,分析附加力偶的影响,引入广义质心偏移的数学描述,通过时变参数在线递推估计算法获得广义质心偏移的参数,该参数实时用于硅片台平面电机4组线圈水平推力的解耦。实验结果表明:使用该参数递推估计算法实现实时动态解耦,自适应能力强,降低了系统3自由度之间的串扰,提高了运动控制系统的性能。
- 黄涛杨开明朱煜蒋毅胡楚雄
- 关键词：解耦
- 纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用
- 朱煜张鸣杨开明胡金春成荣李鑫胡楚雄尹文生徐登峰穆海华王磊杰张利胡海张永刚李晓通
- 集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。中国集成电路产业发展严重受制于集成电路制造装备，尤其是技术难度最高、最核心的装备-光刻机。工件台作为光刻机最核心的子系统，为...
- 关键词：
- 关键词：光刻机集成电路
- 一种磁悬浮平面电机
- 本发明公开一种磁悬浮平面电机，包括磁钢阵列、线圈模块阵列、冷却管网等。线圈模块阵列呈V形阵列排布，每一列的线圈基座第一流体接口和第二流体接口分别形成一列流体接口，且相邻列的流体接口靠近布置作为一列流体接口，奇数列流体接口...
- 胡楚雄付宏朱煜张鸣
- 文献传递
- 一种感应式驱动的气浮动量球系统
- 一种感应式驱动的气浮动量球系统。包括：气浮动量球模块、传感器测量组件、上位机控制器及驱动模块。气浮动量球模块包括定子阵列、球形动子和气浮组件。球形动子由气浮组件支承悬浮，由定子阵列驱动旋转。传感器测量组件包括力/力矩测量...
- 朱煜张鸣怀周玉杨开明成荣陈安林胡金春胡楚雄徐登峰穆海华
- 文献传递
- 金属浆料及其制备方法、金属图案打印与激光烧结方法
- 本发明公开了一种金属浆料及其制备方法、金属图案打印与激光烧结方法。其中，金属浆料主要由金属粉末、焦油、N‑甲基吡咯烷酮和聚乙烯吡咯烷酮均匀混合而成，其中，所述焦油为煤焦油或乙烯焦油。本发明通过在金属浆料中加入焦油，增强了...
- 臧浠凝胡楚雄于济川汪泽魏媛孔
- 干涉条纹相位锁定系统分析及其控制被引量：3
- 2017年
- 干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关,基于这一原理,通过对干涉场光强分析,提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强,并以该光强电压作为反馈控制信号,利用声光调制器对干涉系统中两束高斯光束中的一束进行实时频率调制,将光强电压控制在一个固定值,实现干涉条纹的相位锁定.构建了条纹锁定控制系统控制对象的理论模型,通过实验进行了验证,并基于该模型的特点设计了条纹锁定控制器.实验结果表明:在400Hz的控制频率下,干涉条纹相位漂移不超过±0.04个条纹周期,满足干涉光刻的曝光需求.
- 鲁森杨开明朱煜张鸣王磊杰胡楚雄
- 关键词：相位锁定声光调制器实时控制频率调制
- 陶瓷增减材复合制造装备
- 本公开实施例属于陶瓷精密加工制造技术领域，具体涉及一种陶瓷增减材复合制造装备。本公开实施例旨在解决相关技术中浆料在固化时体积会发生变化，容易导致工件的尺寸精度不足的问题。本公开实施例的陶瓷增减材复合制造装备包括工作台、支...
- 汪泽胡楚雄赵紫延
- 陶瓷的增材制造设备和陶瓷的增材制造方法
- 本发明提供一种陶瓷的增材制造设备和陶瓷的增材制造方法，增材制造设备包括支撑座、增材机构、减材机构和烧结机构，支撑座上具有固化件、导轨和工作台；工作台沿导轨的延伸方向移动，以使工作台在增材机构、减材机构和烧结机构之间移动，...
- 胡楚雄汪泽赵紫延
