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刘民

作品数：20 被引量：15H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 5篇刻蚀
  • 4篇耦合器
  • 4篇溅射
  • 4篇光刻
  • 4篇光栅
  • 2篇电子束光刻
  • 2篇端面
  • 2篇端面耦合
  • 2篇对准标记
  • 2篇悬壁
  • 2篇悬壁梁
  • 2篇亚波长
  • 2篇亚波长光栅
  • 2篇阵列
  • 2篇正方形
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇石英表
  • 2篇套刻
  • 2篇透镜体
  • 2篇热熔

机构

  • 20篇上海交通大学
  • 1篇连云港职业技...

作者

  • 20篇刘民
  • 11篇程秀兰
  • 8篇付学成
  • 6篇王晓东
  • 4篇王英
  • 2篇刘丹
  • 2篇金贤敏
  • 2篇王敏
  • 2篇徐剑
  • 1篇毛海平
  • 1篇王凤丹
  • 1篇郑泽林

传媒

  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇中国电力
  • 1篇真空
  • 1篇应用科学学报
  • 1篇计算机与现代...

年份

  • 3篇2024
  • 1篇2023
  • 4篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 3篇2018
  • 1篇1996
  • 3篇1994
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
电子束蒸镀和磁控溅射沉积金膜表面黑色颗粒的对比研究
为了研究沉积金膜表面黑色颗粒的形成原因，采用磁控溅射和电子束蒸镀两种不同的方法在干净的蓝宝石衬底上沉积100nm金膜。通过能量色散谱仪分析黑色颗粒的成分，利用扫描电镜分析两种方法制备金膜表面黑色颗粒的形状和大小。
付学成王英毛海平刘民权雪玲
一种具有ITO电极的垂直型锗硅光电探测器及其制备方法
本发明提供了一种具有ITO电极的垂直型锗硅光电探测器及其制备方法，锗硅光电探测器自下而上依次包括高阻Si衬底层、P型掺杂Si层、P型掺杂Ge层、本征Ge层、n型Ge层、n型Si层，对锗硅光电探测器隔断，隔断后的P型掺杂S...
程秀兰李雅倩王晓东付学成刘民权雪玲
文献传递
一种降低ITO薄膜红外吸收率的方法
本发明提供了一种降低ITO薄膜红外吸收率的方法，包括如下步骤：基片清洗步骤：透明的优质浮法玻璃作为基底，使用丙酮在超声的环境下进行清洗；ITO薄膜制备步骤：沉积ITO薄膜，设定靶材转速、溅射功率，经过设定时间得到ITO薄...
程秀兰李雅倩王晓东付学成刘民权雪玲
文献传递
基于循环刻蚀工艺的石英微透镜制备方法及石英微透镜
本发明提供了一种基于循环刻蚀工艺的石英微透镜制备方法及石英微透镜，包括：光刻步骤：在石英表面上制备光刻胶柱体；热熔步骤：对带有光刻胶柱体的石英表面进行热熔处理，将光刻胶柱体转变为光刻胶透镜体；刻蚀步骤：对石英表面的光刻胶...
刘丹程秀兰乌李瑛刘民张笛瞿敏妮权雪玲
氮化硅波导辅助悬臂梁端面耦合器
本发明提供了一种氮化硅波导辅助悬臂梁端面耦合器，包括硅衬底、氮化硅波导结构、硅波导结构、连接梁结构以及悬臂梁结构；悬臂梁结构连接设置在连接梁结构上，连接梁结构连接设置在硅衬底上；硅衬底设置有衬底槽，悬壁梁结构悬于衬底槽的...
程秀兰李雅倩王敏权雪玲刘民王晓东
文献传递
一种精细微纳米玻璃结构的加工方法
本发明公开了一种精细微纳米玻璃结构的加工方法，包括如下步骤：准备玻璃基片，并进行清洗吹干；当掩膜材料为非光刻胶材料，将掩模薄膜沉积到玻璃基片上，再涂覆光刻胶；当掩膜材料为光刻胶材料，在玻璃基片上涂覆光刻胶；采用光刻的方式...
权雪玲程秀兰刘民付学成瞿敏妮黄胜利凌天宇
CIM网络的特点及其设计
1994年
本文以ＣＩＭＳ递阶结构的介绍入手，着重论述了ＣＩＭ网络的基本特点，进一步介绍ＣＩＭ网络设计的基本要求以及设计的一般方法和需考虑的几个问题。
刘民
关键词：CIMS
用于电子束光刻套刻的通用对准标记及其制造方法
本发明提供了一种用于电子束光刻套刻的通用对准标记及其制造方法，包括衬底层、绝缘层和芯层；所述绝缘层位于所述衬底层上，所述芯层位于所述绝缘层上；所述对准标记为10‑20微米的正方形阵列，周期性分布在基片上；所述对准标记的结...
权雪玲程秀兰王晓东徐剑刘民黄胜利凌天宇
钨坩埚蒸镀金膜表面黑色颗粒的控制研究被引量：4
2018年
采用钨坩埚进行电子束蒸镀金膜是微电子工艺制备电极常用工艺之一,然而在使用钨坩埚蒸发金时会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,对微纳尺寸下金电极或引线的性能具有严重的影响。研究发现调整蒸镀功率和其他工艺条件,黑色颗粒数目有明显变化,随着功率的增加黑色颗粒数目先减少后增加。利用"咖啡环效应"原理,将电子束蒸发功率先升高再降低,既控制了蒸发速度,又成功减少了金膜表面的黑色颗粒,为教学实验、真空镀膜工艺和集成电路生产领域提供参考。
付学成权雪玲刘民王凤丹王英
关键词：电子束蒸发金膜
基于循环刻蚀工艺的石英微透镜制备方法及石英微透镜
本发明提供了一种基于循环刻蚀工艺的石英微透镜制备方法及石英微透镜，包括：光刻步骤：在石英表面上制备光刻胶柱体；热熔步骤：对带有光刻胶柱体的石英表面进行热熔处理，将光刻胶柱体转变为光刻胶透镜体；刻蚀步骤：对石英表面的光刻胶...
刘丹程秀兰乌李瑛刘民张笛瞿敏妮权雪玲
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