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庄玉光

作品数：2 被引量：11H指数：2
供职机构：黑龙江大学物理系更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇各向异性
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇硅
  • 1篇碰撞
  • 1篇EPW

机构

  • 2篇黑龙江大学

作者

  • 2篇温殿忠
  • 2篇庄玉光
  • 1篇邱成军

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1995
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同被引量：4
1995年
<正>本文在文献(1~5)的基础上,进一步应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的机理,并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果.
温殿忠庄玉光
关键词：硅EPW各向异性
硅在KOH溶液中各向异性腐蚀机理的研究被引量：7
1996年
本文应用碰撞理论研究了硅在ＫＯＨ溶液中各向异性腐蚀的机理。结果表明，硅在ＫＯＨ溶液中的各向异性腐蚀速率不但与硅材料晶面原子密度差异有关，而且还与活化离子ＯＨ－数有关，活化粒子数与成正比。应用本文给出的腐蚀机理能满意解释硅在ＫＯＨ溶液中各向异性腐蚀的实验结果。
温殿忠庄玉光邱成军
关键词：硅各向异性碰撞
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共1页<1>
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