吕迅
- 作品数：66 被引量：92H指数：6
- 供职机构：浙江工业大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金浙江省教育厅科研计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种金刚石丸片加工特性的评价方法
- 一种金刚石丸片加工特性的评价方法，包括以下过程：1)设立金刚石丸片的特性指标体系，所述特性指标体系包括整体刚度和显微硬度，所述整体刚度表征丸片在加工工件时的保形能力，给定整体刚度的划分级别的刚度阈值；所述显微硬度表征丸片...
- 吕迅梅德庆
- 文献传递
- 一种基于螺旋运动方式的精密球体加工装置
- 一种基于螺旋运动方式的精密球体加工装置，上调整盘和下调整盘固定在机架上，上调整盘和下调整盘上均具有滑动键槽；固定柱上带有数条竖直研磨槽，球体收集孔道位于固定柱中间，固定柱固定在下调整盘上；螺旋研磨槽柱中空，通过轴与定位安...
- 邓乾发吕冰海吕迅杭伟郭晨曦
- 一种硬脆陶瓷材料在磨粒加工后表面切削深度分布的测定方法
- 一种硬脆陶瓷材料在磨粒加工后表面切削深度分布测定方法，该测定方法包含以下步骤：1)建立磨粒与工件间磨削力模型及磨粒与磨具结合剂间磨削力模型，决定磨粒对工件的切削深度的磨粒工件间法向力：2)在研磨过程中，磨粒在法向方向受力...
- 吕迅袁巨龙李志鑫
- 文献传递
- 超精密球体的变摩擦系数加工装置
- 一种超精密球体的变摩擦系数加工装置，包括基台、平盘、沟槽盘、驱动装置和加载装置；沟槽盘开有设定形状的V形沟槽轨道，沟槽盘通过驱动装置驱动，平盘表面根据设定规则划分成类扇形区域，相邻扇形区域采用不同的材质，平盘弹性悬接在加...
- 吕迅张冬峰
- 文献传递
- 一种四通阀阀座底面的高效高精度加工方法
- 一种四通阀阀座底面的高效高精度加工方法，包括以下步骤：固着磨粒陶瓷上研磨盘与固着磨粒陶瓷下研磨盘构成双面研磨机器，控制上、下固着磨粒陶瓷研磨盘分离；在双面行星轮夹具上下工件槽中安装阀座零件并将双面行星轮夹具安装在上、下固...
- 许勇杰吕迅
- 微小球的超精密研磨及在线修锐方法和装置
- 微小球的超精密研磨及在线修锐方法和装置，包括以下步骤：将待加工的微小球放入沟槽盘的V型沟槽中，手轮控制丝杠螺母转动，相应的，丝杆下移使非连续区域固着磨粒盘对待加工的微小球加压，同时，驱动结构带动沟槽盘做定轴匀速转动，进而...
- 吕迅周超杰
- CMP加工过程中加工载荷对液膜厚度的影响分析
- 2009年
- 本文采用激光诱导荧光技术(LIF)来研究抛光参数对化学机械抛光加工区液膜厚度的影响。研究表明,抛光液膜厚度随着抛光载荷的增加而减少,减小的趋势随抛光载荷的提高而减缓。同时液膜厚度随着抛光速度的增加而变大。通过抛光参数的变化对抛光液液膜厚度影响的分析,为改善CMP加工工艺提供理论性的依据。
- 郁炜吕迅楼飞燕
- 关键词：化学机械抛光液膜厚度激光诱导荧光
- 基于田口试验法的双自转研磨盘磨球工艺的优化被引量：12
- 2008年
- 陶瓷球双自转研磨盘的研磨方式是一种新型的球磨方式,它不仅磨球精度较高,且磨球机构简单。采用田口试验法来获取陶瓷球双自转研磨盘研磨方式的最佳工艺参数,以及各参数对研磨指标的贡献率。实验表明,当加载压力为4N/ball,研磨液浓度为wt10%,取内外盘速度组合1时,可获得最佳的球面表面粗糙度和球度。试验还表明,研磨液浓度对陶瓷球表面粗糙度和球度影响程度最大。
- 吕迅金杨福厉淦
- 关键词：陶瓷球
- 压电陶瓷超薄银电极的高平面度加工研究被引量：10
- 2007年
- 压电陶瓷换能器两端的银电极要求较高的平面度及较好的表面质量。由于其上的银电极极薄（50～60μm），加工余量很少。一般的超精密加工过程易出现银电极加工过量的现象，因此本研究直接采用单位去除量少的超精密抛光来对超薄银电极进行超精密加工，并采用高平面度的锡盘，使银电极保留完整且平面度较高。本文通过各组工艺试验，比较研究了加工压力、抛光速度及抛光液对压电陶瓷银电极平面度、表面去除量的影响，并得到超薄银电极的最佳加工工艺。
- 吕迅金杨福鲁聪达
- 关键词：压电陶瓷换能器银电极平面度
- 基于田口方法的GaAs基片化学机械抛光加工工艺研究被引量：2
- 2009年
- 为获得超平滑的GaAs基片表面,以H2O2、CeO2和NH4OH溶液为抛光液,采用化学机械抛光方法对GaAs基片进行了超精密加工。采用田口方法对氧化剂H2O2含量、碱性溶液NH4OH含量、加工载荷、抛光盘转速4个重要影响因素进行了优化设计,得到以表面粗糙度和材料去除率为评价条件的综合最优抛光参数。结果表明,当H2O2质量分数为30%,NH4OH质量分数为0.08%,加工载荷为18kPa,抛光盘转速为30r/min时,可以获得表面粗糙度和材料去除率综合最优的GaAs基片抛光效率。
- 吕迅郁炜
- 关键词：砷化镓化学机械抛光田口方法
