王树山
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法
- 本发明公开了一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法。公知的该类型合成射流器采用湿法刻蚀技术，喷口的竖直剖面几何形状是两个尖角相对的锥形，加工难度大、射流能量低。本发明采用感应耦合等离子刻蚀将喷口加工在腔体侧璧并与之贯通...
- 邓进军王树山马炳和侯辉苑伟政姜澄宇
- 文献传递
- 侧喷式微型压电合成射流器制作及其振动测试
- 2014年
- 结合主动流动控制需求,针对研发的侧喷式微型压电合成射流器提出了一种加工工艺并进行了振动性能测试。主要的微加工工艺流程包括:采用体硅感应耦合等离子刻蚀技术加工喷口和腔体,硅-玻璃阳极键合,利用新的PZT刻蚀溶液对基于硅的PZT压电振膜图形化。引线键合并划片之后,对制作器件的压电振子进行了测试。结果表明,压电振子谐振频率为5kHz,中心处最大振幅为15.05μm,振动速率为472.2mm/s。压电振子的振幅和振动速率变化一致,同时受到驱动电压幅值和频率的影响。
- 王树山马炳和邓进军曲红冬
- 关键词：MEMS压电振子
- 一种具有单面引线结构的压电激励器及其制作方法
- 本发明公开了一种具有单面引线结构的压电激励器，包括压电片和贴附于其上下表面的电极及电极引线，原有上电极分为不对称的两块电极，其中较大的一块形成工作上电极，较小的一块通过银浆与原有下电极导通构成引线下电极，压电激励器位于振...
- 邓进军王树山马炳和曲红东苑伟政
- 文献传递
- 一种微型侧喷式压电合成射流器的设计被引量：1
- 2012年
- 设计了一种侧喷型合成射流器,考察了射流器喷口结构尺寸对射流速度的影响,计算了不同喷口宽度下的动量系数,确定了喷口的最优尺寸,并在攻角为23°的NACA0015翼型进行了数值仿真模拟。结果表明,合成射流器可以有效的抑制边界层流动分离。同时设计了器件的加工工艺流程并完成了器件的加工。
- 侯辉马炳和邓进军王树山庄成乾
- 一种具有单面引线结构的压电激励器及其制作方法
- 本发明公开了一种具有单面引线结构的压电激励器，包括压电片和贴附于其上下表面的电极及电极引线，原有上电极分为不对称的两块电极，其中较大的一块形成工作上电极，较小的一块通过银浆与原有下电极导通构成引线下电极，压电激励器位于振...
- 邓进军王树山马炳和曲红东苑伟政
- 文献传递
