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侯辉

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：航空宇航科学技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 2篇射流器
  • 1篇电路
  • 1篇电路制造
  • 1篇压电
  • 1篇射流
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇喷口
  • 1篇刻蚀
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路制造
  • 1篇集成电路制造...
  • 1篇硅基
  • 1篇合成射流
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体制造
  • 1篇半导体制造技...

机构

  • 3篇西北工业大学

作者

  • 3篇马炳和
  • 3篇侯辉
  • 3篇邓进军
  • 2篇姜澄宇
  • 2篇苑伟政
  • 2篇王树山
  • 2篇庄成乾
  • 1篇何洋
  • 1篇肖同新
  • 1篇叶芳
  • 1篇郝日鹏
  • 1篇高洁
  • 1篇朱鹏飞
  • 1篇马志波
  • 1篇王文庆
  • 1篇王云龙

传媒

  • 1篇航空精密制造...

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法
本发明公开了一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法。公知的该类型合成射流器采用湿法刻蚀技术，喷口的竖直剖面几何形状是两个尖角相对的锥形，加工难度大、射流能量低。本发明采用感应耦合等离子刻蚀将喷口加工在腔体侧璧并与之贯通...
邓进军王树山马炳和侯辉苑伟政姜澄宇
文献传递
柔性微纳结构制造技术及其应用
姜澄宇苑伟政邓进军马炳和马志波何洋叶芳朱鹏飞王云龙郝日鹏庄成乾肖同新侯辉王文庆高洁
“柔性微纳结构制造技术及其应用”是在国家自然科学基金、863课题等项目支持下的微机电系统(MEMS)器件加工技术的最新研究成果，属于先进制造技术领域。半导体制造技术是微纳结构的主要加工手段之一。特别是MEMS器件，继承了...
关键词：
关键词：半导体制造技术集成电路制造工艺
一种微型侧喷式压电合成射流器的设计被引量：1
2012年
设计了一种侧喷型合成射流器,考察了射流器喷口结构尺寸对射流速度的影响,计算了不同喷口宽度下的动量系数,确定了喷口的最优尺寸,并在攻角为23°的NACA0015翼型进行了数值仿真模拟。结果表明,合成射流器可以有效的抑制边界层流动分离。同时设计了器件的加工工艺流程并完成了器件的加工。
侯辉马炳和邓进军王树山庄成乾
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