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张本义

作品数：2 被引量：6H指数：2
供职机构：沈阳真空技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇射频
  • 1篇等离子体
  • 1篇射频辉光放电
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电

机构

  • 2篇沈阳真空技术...

作者

  • 2篇张本义
  • 2篇冯玉国

传媒

  • 2篇真空

年份

  • 1篇1991
  • 1篇1990
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
射频自偏压在等离子体工艺中的作用被引量：5
1991年
木文讨论了射频自生负偏压的作用，认为自偏压代表了等离子体状态而且也代表了离子对各个表面的轰击能量。
冯玉国张本义张华
关键词：射频等离子体
射频辉光放电中的自生负偏压被引量：3
1990年
本文讨论了射频自偏压产生的机理，并认为以射频自偏压作为射频光放电系统的最重要的工艺参数是有道理的。
冯玉国张本义
关键词：辉光放电射频
全文增补中
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共1页<1>
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