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冯玉国
作品数:
6
被引量:10
H指数:2
供职机构:
沈阳真空技术研究所
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合作作者
张本义
沈阳真空技术研究所
白玉石
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静电探针收集电子流
被引量:2
1990年
导出了静电探针在非平衡态的辉光放电等离子体中收集电子流的公式,证明了在探 针鞘电压为负值时,对平板形、球形、圆柱形探针具有相似的公式。当探针鞘电压为正 值时不同形状的探针收集电子流的公式是不同的。在鞘电压为0点附近,探针收集的电 子流是连续的。而且电子流对鞘电压的一次微商在鞘电压为0时达到最大值。这可以作 为测量等离子空间电位的依据。
冯玉国
关键词:
电子流
辉光放电
真空电阻炉炉衬热损耗计算
本文简述了真空电阻炉炉衬热损耗计算的必要性.对所用的基本定律和应用公式作了一些提示.简单介绍了作者编制的计算程序.
冯玉国
白玉石
关键词:
真空电阻炉
热传导
热辐射
计算程序
文献传递
射频自偏压在等离子体工艺中的作用
被引量:5
1991年
木文讨论了射频自生负偏压的作用,认为自偏压代表了等离子体状态而且也代表了离子对各个表面的轰击能量。
冯玉国
张本义
张华
关键词:
射频
等离子体
气体粘滞流流导计算的意见
被引量:2
2003年
指出现行的气体流导计算公式十分混乱,难以在真空工程中使用,建议修正气体流导定义,并重新理顺气体流导公式。
冯玉国
关键词:
粘滞流
射频辉光放电中的自生负偏压
被引量:3
1990年
本文讨论了射频自偏压产生的机理,并认为以射频自偏压作为射频光放电系统的最重要的工艺参数是有道理的。
冯玉国
张本义
关键词:
辉光放电
射频
全文增补中
真空电阻炉炉衬热损耗计算
本文简述了真空电阻炉炉衬热损耗计算的必要性。对所用的基本定律和应用公式作了一些提示。简单介绍了作者编制的计算程序。
冯玉国
白玉石
关键词:
真空电阻炉
热传导
热辐射
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