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张雅茹

作品数：4 被引量：5H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇探头
  • 1篇组件
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇微型化
  • 1篇无阀微泵
  • 1篇流速测量
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇聚酰亚胺薄膜
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感器探头
  • 1篇传感器研究

机构

  • 3篇哈尔滨工业大...

作者

  • 3篇张雅茹
  • 2篇王东红
  • 1篇陈伟平
  • 1篇兰慕杰
  • 1篇蓝慕杰
  • 1篇邢树先

传媒

  • 1篇遥测遥控
  • 1篇第四届全国微...

年份

  • 2篇2002
  • 1篇2000
共 4 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微型磁通门传感器探头及组件关键技术的研究
通过对传统磁通门传感器的结构、原理的分析研究,结合目前国内外微型磁通门传感器研究的现状和所具备的实验条件,分析了磁通门探头各结构参数对磁通门性能的影响,设计了21种结构参数的微型磁通门传感器探头和光刻掩模版,利用微电子器...
张雅茹
关键词：传感器微型化组件聚酰亚胺薄膜
文献传递
微型磁通门传感器研究的现状与未来发展被引量：4
2002年
叙述微型磁通门传感器研究的现状 ,介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺 ,比较不同类型微型磁通门的差异 。
张雅茹兰慕杰王东红
关键词：传感器MEMS
垂直结构无阀微泵的研究
利用KOH对硅化学腐蚀的各向异性特性和硅片静电键合技术制作了垂直结构压电驱动无阀微泵,利用液柱高度差及闭环流动系统测量了泵压和流速.初步结果表明,泵特性除与外加电压有关外,还与压电膜片的厚度有关.
蓝慕杰陈伟平王东红邢树先张雅茹
关键词：无阀微泵流速测量
文献传递
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