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邢树先

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇无阀微泵
  • 1篇流速测量

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇陈伟平
  • 1篇张雅茹
  • 1篇蓝慕杰
  • 1篇邢树先
  • 1篇王东红

传媒

  • 1篇第四届全国微...

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
垂直结构无阀微泵的研究
利用KOH对硅化学腐蚀的各向异性特性和硅片静电键合技术制作了垂直结构压电驱动无阀微泵,利用液柱高度差及闭环流动系统测量了泵压和流速.初步结果表明,泵特性除与外加电压有关外,还与压电膜片的厚度有关.
蓝慕杰陈伟平王东红邢树先张雅茹
关键词：无阀微泵流速测量
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